产品名称:KTL-CVD-1700-1400双温区CVD系统
产品摘要:
CVD系统由供气系统+双温区管式炉+抽气系统组成 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
型号 功率 炉管尺寸 外形尺寸 电源电压
KTL-CVD-1700-1400-60 8KW φ60*1250 1300*500*800 220V
KTL-CVD-1700-1400-100 12KW φ100*1250 1300*550*850 380V
