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1700二通道混气高真空CVD系统

产品型号:

GSL-1700℃X-HVC

产品概括:

GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其最高工作温度可达1600℃,极限高真空度可达to10-5torr.混气系统可以对两种气体进行精确地混气,然后导入到管式炉内部。

壳体:

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,减少热量的损失真空泵和气体混合系统位于移动架上,方便移动.仪器上已经安装高真空法兰,阀门,高真空机组

炉管

材质: 高纯氧化铝陶瓷管

一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

(标配尺寸) (60mm) 0.D.x I.D.(50mm)x1000mmL

(选配尺寸) (80mm) 0.D.x I.D.(70mm)x1000mmL

功率:

6RW

工作电压:

AC 208-2407单相, 50/60Hz

加热元件:

8根1800°c grade MoSi2elementheating

工作温度:

最高工作温度.: 1650°c(<2h)(更新时间:19.12.10-JS2)连续工作温度.: 1600°c

升温速率:

5°C/min

加热区长度:

加热区长度: 457TU(18~)

温控系统:

采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序

控温精度: 土1°c

控温仪表操作视频

热电偶: B型,已经安装在炉内

真空法兰:

一对不锈钢真空密封

法兰已经安装法兰上带有一机械压力表

两个精密针阀

一个KF-25连接器和F-25转K-40 抽气接口

一个1/4”卡套接头

外形尺寸:

550 x380x520mm

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